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澤攸探針臺微納世界的“精密手術刀”與“科學探照燈”

更新時間:2025-07-15點擊次數:61
  在半導體芯片尺寸逼近物理極限、納米材料應用突破傳統邊界的今天,如何實現微米級甚至納米級器件的精準測試與操控,成為制約科技創新的關鍵瓶頸。澤攸憑借自主研發的探針臺系列產品,以“三維定位精度達納米級、環境適應性跨越-196℃至400℃”的核心技術,為微納電子、光電材料、量子計算等領域提供了從基礎研究到產業化的全鏈條解決方案。
 

 

  一、半導體行業的“質量守門人”
  在晶圓制造環節,澤攸手動探針臺系統通過特制熱沉設計將溫度波動控制在±0.1℃以內,配合高精度微調樣品座,可實現0.1μm級落針精度。該系統支持4-8個探針臂同步操作,單軸定位精度達±0.005mm,能同時完成集成電路的電壓、電流、電阻及電容特性曲線測試。某國產存儲芯片廠商采用該設備后,將晶圓測試良率從92%提升至98.7%,單片晶圓測試時間縮短40%,每年節省檢測成本超千萬元。
  二、異常環境下的“科學探險家”
  澤攸低溫液氮探針臺LN-4H-06突破傳統測試邊界,其真空腔體可達6×10??Pa超高真空,變溫樣品臺實現80K至400K寬溫域調控。在北京大學核殼填料研究中,該設備在-193℃低溫下,通過SEM納米探針臺的單球電氣測試功能,精確驗證了銀微球涂覆氧化鋁層后的絕緣性能,電阻值提升6個數量級,為高性能熱管理材料開發提供關鍵數據支撐。
  三、納米科技的“萬能操作臺”
  微納探針臺采用壓電陶瓷驅動技術,在100mm×100mm行程范圍內實現亞納米級定位,配備的連續變倍顯微鏡可實現700倍視頻放大。在量子點器件研發中,該設備通過光纖探針替換傳統電學探針,成功實現單光子發射器的原位表征,將測試效率提升10倍。更值得關注的是,其模塊化設計支持快速升級,某科研團隊通過加裝納米鑷子選件,在真空環境中完成了碳納米管的機械剝離與電學測試。
  從晶圓廠到國家重點實驗室,澤攸探針臺已形成覆蓋手動、自動、低溫、SEM原位等12大系列的產品矩陣,累計服務全球300余家科研機構及企業。在芯片制程邁向2nm、量子計算進入工程化階段的當下,這些能“在頭發絲上雕刻電路”的精密儀器,正持續推動著微納電子技術的邊界拓展。
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