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PRODUCTS CNTERsensofar白光干涉儀:檢測薄膜厚度,的四合一測量技術堪稱 S neox 的一大核心亮點。在其傳感器頭中,巧妙集成了干涉、共聚焦、Ai 多焦面疊加和膜厚測量等多種*測量技術。只需輕松點擊一次,系統便能依據當前測量任務的具體需求,自動智能地切換到最為適配的優良技術。
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西班牙Sensofar公司推出的S neox共聚焦模式白光干涉儀,是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面疊加技術的三維光學輪廓儀,廣泛應用于科研、質量檢測和生產過程控制等領域。該設備以其高精度、多功能性和非接觸式測量特性,成為表面形貌測量領域的。
一、S neox共聚焦模式的核心特點
1. 共聚焦模式
共聚焦模式是S neox的核心功能之一,其主要優勢在于提供高橫向分辨率(可達0.10μm),適用于臨界尺寸測量。該模式通過共聚焦顯微鏡技術,能夠實現對光滑表面的高精度測量,并且在測量過程中無需移動部件,從而確保了測量的穩定性和重復性。此外,S neox采用高數值孔徑(NA=0.95)和高放大倍率(150X和200X)的物鏡,能夠測量斜率超過70°的表面,適用于高陡表面的測量
。
2. 真彩色共聚焦圖像
S neox在共聚焦模式下,能夠生成真彩色圖像,每個像素點還原真實色彩,色彩保真度高。這種技術通過紅、綠、藍三色LED交替照明,并將三張單色圖像合成一幅高分辨率的彩色圖像,相比其他品牌采用像素插值算法的方式,S neox的圖像質量更勝。
3. 超清晰細節
S neox配備了高分辨率攝像頭(2560x1440像素),能夠呈現共聚焦圖像的超清晰細節,使用戶能夠清晰地觀察表面的微小結構
。
二、S neox的多技術融合
S neox不僅具備共聚焦模式,還集成了干涉和多焦面疊加技術,使其在不同應用場景中具有靈活性和適應性。
1. 干涉模式
干涉模式提供亞納米級精度的縱向分辨率,適用于光滑表面的高度測量。該模式通過白光干涉技術,能夠測量納米級的表面形貌,適用于各種光滑表面的測量。此外,S neox還支持多波長LED光源(紅、綠、藍、白),以滿足不同應用需求
。
2. 多焦面疊加模式
多焦面疊加模式是S neox的一大亮點,它能夠在短時間內完成對非常粗糙表面的測量。該模式通過快速掃描和大掃描范圍,能夠測量斜率高達86°的表面,適用于工件和模具的測量。此外,該模式還支持AI算法,能夠自動合并多個焦面的圖像,生成完整的3D表面形貌
。
3. 無運動部件設計
S neox的測量頭內無運動部件,采用Microdisplay共聚焦掃描技術,避免了機械振動帶來的測量誤差。這種設計不僅提高了測量的穩定性,還延長了設備的使用壽命
。
三、S neox的應用領域
S neox因其高精度和多功能性,被廣泛應用于多個領域,包括但不限于:
半導體制造:用于測量晶圓的表面粗糙度、臺階高度和孔內深度。
生物醫學:用于測量生物材料的表面形貌和納米壓力傳感器的初始偏轉。
微電子與電子消費產品:用于測量微通道、激光結構和功能紋理。
古生物學:用于分析工具的使用痕跡和微磨損。
能源與汽車:用于測量電池表面紋理和模具尺寸。
四、S neox的技術優勢
高精度:S neox在共聚焦模式下提供0.10μm的橫向分辨率,干涉模式下提供亞納米級的縱向分辨率,多焦面疊加模式下提供納米級的測量精度。
高速度:S neox的數據采集速度可達180 fps,是市場上速度最快的表面測量系統之一
。
多功能性:S neox支持多種測量模式,能夠適應不同類型的表面形貌測量需求。
非接觸式測量:S neox采用非接觸式測量技術,避免了對樣品的損傷,適用于各種敏感材料的測量
。
用戶友好:S neox配備了SensoSCAN、SensoPRO和SensoMAP等軟件,提供直觀的操作界面和強大的數據分析功能
。
五、S neox的市場表現與支持
S neox自推出以來,因其性能和可靠性,受到了全球用戶的廣泛認可。Sensofar公司作為共聚焦干涉顯微鏡的發明者,將共聚焦和干涉技術結合,無需額外硬件即可自動切換模式,使客戶能夠同時擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀的功能。此外,S neox還提供整機質保期1年,安裝調試現場免費培訓,電話支持響應時間24小時內,維修響應時間3天內,以及維保合同等售后服務。
六、總結
西班牙Sensofar的S neox共聚焦模式白光干涉儀是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面疊加技術的三維光學輪廓儀,以其高精度、多功能性和非接觸式測量特性,成為表面形貌測量領域的。無論是科研機構還是工業生產領域,S neox都能提供測量解決方案,滿足各種復雜的應用需求