一、產(chǎn)品定位：跨尺度表面形貌分析的“全能選手"

作為Sensofar第五代干涉共焦顯微鏡，S neox系列突破傳統(tǒng)單一技術(shù)局限，通過共聚焦掃描、白光干涉、相位差干涉、AI多焦面融合四大模式協(xié)同工作，實現(xiàn)從粗糙表面（Ra>10μm）到超光滑表面（Ra<0.1nm）的全場景覆蓋。Sensofar S neox“四維協(xié)同"重塑微觀世界其核心價值在于：

• 一機多用：無需硬件更換，軟件一鍵切換測量模式，降低設(shè)備采購成本；

• 智能自適應(yīng)：根據(jù)樣品特性自動優(yōu)化光源波長、入射角度及算法，減少人工干預(yù)；

• 抗干擾設(shè)計：搭載實時環(huán)境補償算法（REC），在普通實驗室振動條件下（>100nm）仍可穩(wěn)定輸出數(shù)據(jù)。

二、產(chǎn)品性能：技術(shù)參數(shù)定義

1. 核心參數(shù)表

2. 技術(shù)突破亮點

• Microdisplay共焦技術(shù)：掃描頭內(nèi)無運動部件，消除機械振動對精度的干擾，壽命提升至10萬小時；

• 連續(xù)共聚焦掃描：通過同步面內(nèi)與Z軸掃描，將傳統(tǒng)共聚焦速度提升3倍，15×15mm區(qū)域掃描僅需42秒；

• 三波長干涉場重建：單次掃描同步獲取表面形貌、膜厚分布（0.1nm分辨率）、材料折射率及真色彩光學特征。

三、用材與工藝：工業(yè)級可靠性保障

• 光學系統(tǒng)：采用德國肖特超低色散玻璃與日本濱松高功率LED光源，光路穩(wěn)定性優(yōu)于λ/20（波長/20）；

• 機械結(jié)構(gòu)：航空級鋁合金框架搭配大理石基座，抗振動干擾能力提升50%，適應(yīng)潔凈車間、生產(chǎn)線等復(fù)雜環(huán)境；

• 防護設(shè)計：IP54防護等級，關(guān)鍵部件（如物鏡、電動平臺）采用密封設(shè)計，通過ISTA 3A運輸測試標準。

四、應(yīng)用場景：跨行業(yè)解決方案

1. 半導(dǎo)體制造

• 檢測晶圓表面亞表面損傷層厚度，定位精度達0.5μm；

• 評估刻蝕均勻性，支持米級長度在線全檢。

2. 新能源電池

• 非接觸式測量極片涂層厚度一致性，避免探針劃傷風險；

• 實時監(jiān)測隔膜微孔結(jié)構(gòu)，優(yōu)化電解液浸潤效率。

3. 生物醫(yī)學

• 分析人工關(guān)節(jié)羥基磷灰石涂層的孔隙率與結(jié)晶度，預(yù)測植入物壽命；

• 捕捉細胞培養(yǎng)基底表面形貌對細胞生長的影響（如干細胞分化導(dǎo)向）。

4. 航空航天

• 測量渦輪葉片表面粗糙度（Ra=8.3μm），量化噴砂處理工藝參數(shù)；

• 檢測復(fù)合材料內(nèi)部缺陷（如分層、孔隙），支持CT數(shù)據(jù)融合分析。

五、包裝與運輸：安全交付的“全流程防護"

• 定制化包裝：高密度泡沫內(nèi)襯+防震木箱，通過ISTA 3A運輸測試，確保設(shè)備在長途運輸中免受沖擊；

• 配件清單：標準物鏡套裝（2.5×-100×）、校準樣塊、SensoSCAN軟件授權(quán)、操作手冊與快速指南；

• 可選配模塊：12英寸自動晶圓臺、高溫原位測量艙（最高800℃）、五軸旋轉(zhuǎn)臺。

六、使用說明：從開箱到測量的“三步閉環(huán)"

1. 安裝調(diào)試：由Sensofar認證工程師提供現(xiàn)場安裝與光路校準服務(wù)，確保設(shè)備達到出廠精度標準（縱向精度±0.5nm）；

2. 操作培訓：通過線上課程與線下實操結(jié)合，覆蓋軟件參數(shù)設(shè)置、測量模式選擇、數(shù)據(jù)分析報告生成等全流程；

3. 日常維護：提供每日清潔、季度校準、年度保養(yǎng)的標準化流程，延長設(shè)備使用壽命。

結(jié)語：S neox——微觀世界的“通用語言"

從哈佛大學量子點薄膜的原子級堆疊分析，到特斯拉超級工廠每分鐘30個電池極片的涂層厚度檢測，Sensofar S neox正以“四維協(xié)同"技術(shù)重新定義表面測量標準。其價值不僅在于數(shù)據(jù)精度，更在于將不可見轉(zhuǎn)化為可量化，將經(jīng)驗判斷升維至數(shù)據(jù)決策——這正是工業(yè)4.0時代對微觀分析的核心需求。Sensofar S neox“四維協(xié)同"重塑微觀世界