Sensofar 三維共聚焦白光干涉光學輪廓儀中的部分型號采用四合一技術方案,集成共聚焦、干涉、Ai 多焦面疊加和膜厚測量四種功能,通過智能算法實現不同技術的無縫切換,減少了數據采集過程中的噪點干擾,讓測量結果更接近樣品真實狀態。Sensofar輪廓儀領略微觀測量魅力
數據采集速度方面,其幀率可達 180fps,標準測量采集速度較傳統設備有明顯提升。這意味著在相同時間內,可完成更多樣品的檢測,尤其適合工業生產線的批量檢測場景,如電子元件的快速篩選。
各項技術各有側重:共聚焦技術適合高斜率表面測量,憑借高橫向分辨率捕捉細微結構;干涉技術能實現亞埃分辨率,是高度光滑表面(如光學鏡片)測量的理想選擇;Ai 多焦面疊加技術則針對大粗糙表面,以較快的速度完成三維數據采集。系統在出廠前,使用符合 ISO25178 相關標準的可追溯標準塊進行校正,確保測量數據的可追溯性,滿足科研數據比對與工業質量認證的要求。
操作軟件 SensoSCAN 采用直觀的圖形化界面,新手用戶通過引導式操作流程即可快速進入 3D 測量環境。軟件內置多種測量模板,針對不同樣品類型(如臺階、溝槽、球面)自動匹配合適的測量參數,降低了操作門檻。在實際應用中,它適用于微型 BUMPS 測量等精密任務,能快速分析其高度、直徑和平整度等數據,幫助生產線及時調整工藝參數,提高生產效率與產品質量。無論是科研人員探索新材料的微觀特性,還是工程師監控生產過程的質量波動,都能從中獲得可靠的測量支持。Sensofar輪廓儀領略微觀測量魅力